Deposisi film tipis ferroelektrik Ba03Sr97TiO3 dengan metode pulse laser deposition dan karakterisasinya

Awitdrus, (2000) Deposisi film tipis ferroelektrik Ba03Sr97TiO3 dengan metode pulse laser deposition dan karakterisasinya.

Full text not available from this repository.
Official URL: http://elib.unikom.ac.id/gdl.php?mod=browse&op=rea...

Abstract

Telah dilakukan deposisi film tipis ferroelektrik Ba03Sr07TiO3 di atas substrat Pt/SiO2/Si dan Si pada twmpwratur deposisi 650oC, 675oC dan 700oC dengan metode pulse laser deposition. Preparaasi target ferroelektrik Ba03Sr07TiO3 dimulsi dsri campuran BaCO3, SrCO3 dan TiO2 dengan reaksi padatan, kalsinaasi pada temperatur 1100oC selama 2 jam dan disintering pada temperatur 1350oC selama 4 jam. In-situ dan ex-situ annealing film tipis ferroelektrik Ba03Sr07TiO3 dalam lingkungan oksigen dilakukan pada temperatur 700oC selama 30 menit dan 850oC selama 5 jam. Karakteristik film tipis ferroelektrikBa03Sr07TiO3 meliputi karakterissasi difraksi sinar X, Scanning Electron Microscopy (SEM), histeresis dan kapasitansi-tegangan.Hasil karakterisasi difraksi sinar X menunjukkan bahwa kualitas film tipis ferroelektrik Ba03Sr07TiO3 semakin baik dengan kenaikan temperatur deposisi. Hal ini diindikasikan oleh meningkatnya intensitas puncak pada orientasi bidang (200), munculnya puncak baru dan menurunnya nilai FWHM. Karakterisasi histeresis dan kapasitansi-tegangan menghasilkan nilai maksimum polarisasi remanen (Pr), medan koersif (Ec), konstanta dielektrik (eT) dan kapasitansi berturut-turut sebesar 0,806 um/cm2, 137,909 kV/cm. 70 dan 25,5 pF diperoleh pada temperatur deposisi 700oC.

Item Type: Article
Subjects: Collections > Koleksi Perpustakaan Di Indonesia > Perpustakaan Di Indonesia > JBPTITBPP > S2-Theses > Physical And Mathematical Sci. > Physics > 2000
Divisions: Universitas Komputer Indonesia > Perpustakaan UNIKOM
Depositing User: M.Kom Taryana Suryana
Date Deposited: 16 Nov 2016 07:34
Last Modified: 16 Nov 2016 07:34
URI: http://kepo.unikom.ac.id/id/eprint/336

Actions (login required)

View Item View Item